Medio máquina de limpieza de plasma se utiliza principalmente en LCD, conectores antes de las áreas de producción en masa, como la vinculación. ????? Características: Todos los componentes básicos importados y para asegurar la estabilidad y la vida útil de la máquina. ????? Bombas de vacío de paletas rotativas importados, es aplicable a otros sistemas que utilizan el medio ambiente tecnología de plasma pueden trabajar largas horas, y en la lucha contra la oxidación, la corrosión, y muchos han acumulado una rica experiencia, mejorado en gran medida la vida de la bomba, y mejorar las medidas de protección reducen efectivamente los costos de mantenimiento de la bomba, la bomba, mejoraron límite de trabajo largas horas, la bomba de aceite de alta temperatura, la bomba de aceite antioxidante tiene una temperatura alta y hacer sus necesidades del sistema de refrigeración, sin refrigeración por agua. Cuerpo de la bomba se coloca en el interior del gabinete, la máquina es compacta, ocupa poco espacio. ????? Control: sistema de control automático adopta PLC y el tacto de control de pantalla de todos los parámetros del proceso, el seguimiento de procesos en tiempo real y el estado de funcionamiento de visualización, grabación de alarma y la curva de la tecnología de grabación, trabajando los registros de tiempo de mantenimiento, puede proporcionar información del proceso. ??????? ◎ puede almacenar 50 grupos de fórmula, llamadas al azar. ????? ◎ tiempo de limpieza, la presión limpio, de potencia de RF, el caudal de gas de proceso, establecen ajustable. ????? ◎ parámetros de proceso es protegido por contrase?a, gestión de contrase?as consultas jerárquicas. ????? ◎ un botón para completar el proceso totalmente automatizado, alarma de falla en tiempo real, consejos de operaciones ilegales, consejos de limpieza y otro extremo. ????? ◎ mantenimiento del sistema recordatorio automático, la sustitución del aceite de la bomba de vacío, para evitar la sobrecarga de la máquina, el trabajo de casos sobre el envejecimiento y prolongar la vida. Medidor de flujo ????? ◎ masa de gas utilizado por las importaciones de Estados Unidos desde la entrada y la salida analógica, rango: 0 ~ 200sccm se puede ajustar dentro del rango, dependiendo de los requerimientos específicos del proceso del caudalímetro másico disponible PLC se puede lograr regulador PID vacío de control. ????? ◎ según los requisitos especiales del proceso se puede utilizar bombas secas, equipos de tratamiento de gases de escape, filtro de aceite, filtro de aceite volver dispositivos. Estructura de electrodos (patentado) mayor flujo de iones puede estar bien dise?ado para mejorar la uniformidad de plasma y la estabilidad.